1、國內(nèi)螺桿真空泵的企業(yè),從2004年起便開始進(jìn)行型線與結(jié)構(gòu)性能方面的研究。在2007年國內(nèi)干式螺桿真空泵的市場基本被國外廠家占據(jù)的時候,國內(nèi)公司投入大量資金將該產(chǎn)品轉(zhuǎn)入批量化的生產(chǎn),并得到國家的大力支持獲得各類省級國家級科技獎項和資金。LG干式螺桿真空泵極限真空更高,消耗功率更低,具有節(jié)能,免維修等優(yōu)點(diǎn)。它是油封式/噴射式/水環(huán)式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品,在國內(nèi)各大制藥和化工企業(yè)得到大量應(yīng)用。針對不同工藝條件,其過流部件(即轉(zhuǎn)子和泵體等與氣體接觸的部分)均有防腐涂層,包括鎳磷涂層和PTFE兩種。
2、螺桿真空泵是利用一對螺桿,在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備,它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品,能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合,在國內(nèi)制藥、化工、半導(dǎo)體等對清潔真空要求較高的企業(yè)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
3、德國和日本公司在1999年底正式推出的螺桿式無油壓縮真空泵是一種專門為工業(yè)應(yīng)用(非半導(dǎo)體應(yīng)用)設(shè)計的干式泵,它是一種全新的設(shè)計,是專門用來解決工業(yè)應(yīng)用中艱苦的真空問題,如粉塵、焦油等。此泵也是采用變螺距轉(zhuǎn)子,有內(nèi)壓縮過程,泵腔內(nèi)無軸承和密封,大大降低了故障率,泵腔內(nèi)沒有內(nèi)部閥門,因而耐粉塵和焦油能力強(qiáng),此泵的螺桿采用內(nèi)部中空冷卻,可以降低轉(zhuǎn)子溫度和熱變形,螺桿壽命長。